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MEMS VOC氣體傳感器利用MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料組成。當(dāng)環(huán)境空氣中有被檢測氣體存在時(shí)，傳感器的電導(dǎo)率發(fā)生變化。該氣體的濃度越高，傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)。
傳感器特點(diǎn)
本品采用MEMS工藝，結(jié)構(gòu)堅(jiān)固，抗震性好；具有尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應(yīng)恢復(fù)快、驅(qū)動(dòng)電路簡單、穩(wěn)定性好、壽命長等特點(diǎn)
主要應(yīng)用
適用于室內(nèi)空氣質(zhì)量監(jiān)測 、手機(jī)電腦等消費(fèi)類子產(chǎn)品應(yīng)用檢測空氣質(zhì)量也適用于呼出氣體檢 測儀、室內(nèi)煙霧報(bào)警等。
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