去離子純化水設(shè)備又稱為超純水設(shè)備或高純水設(shè)備,既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。電阻率大于10~18.3MΩ*cm極限值! 〕兯,是一般純水設(shè)備很難達(dá)到的程度,通常采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理四大步驟,多級過濾、高性能離子交換(拋光)、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法,電阻率方可達(dá)18.25MΩ*cm
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