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超低溫R14。R-14制冷劑，別名R14、14、PFC-14，商品名稱有Freon 14等，中文名稱四氟化碳、全氟化碳，英文名稱Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane，分子式CF4。R-14屬于fc類物質(zhì)——對(duì)沒(méi)有破壞、但存在溫室效應(yīng)；目前對(duì)于R14制冷劑的生產(chǎn)、銷售以及在新制冷設(shè)備上的初裝、售后設(shè)備上的再添加均沒(méi)有限制。
目錄
主要用途:理化性質(zhì):包裝運(yùn)輸:質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn):
r14
R-14作為一款特種超低溫制冷劑，主要應(yīng)用于要求溫度非常低的深冷設(shè)備中（包括科研制冷、醫(yī)用制冷等），R14同時(shí)也是超低溫配合的重要組分。四氟化碳（四氟）是目前微電子工業(yè)中用量的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛應(yīng)用于硅、、、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、泄漏檢驗(yàn)劑、印刷電路生產(chǎn)中的等方面也大量使用。
（Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane ），亦稱四氟化碳、全氟化碳，PFC-14（R-14）。分子式：CF4。
相對(duì)分子量：88.00。
在常溫下，四氟甲烷是無(wú)色、無(wú)臭、不燃，不溶于水的可壓縮性氣體。
沸點(diǎn)：-128℃，熔點(diǎn)：-183.6℃。
液體密度（-130℃）1.613g/cm3，臨界溫度-45.67℃，臨界壓力3.74Mpa，蒸氣壓（-150.7℃）13.33kPa，介電常數(shù)（25℃，0.5Mpa）1.0006。揮發(fā)性較高，是穩(wěn)定的有機(jī)化合物之一，在900攝氏度時(shí)，不與鋼、鎳、鎢、鉬反應(yīng)，僅在碳弧溫度下緩慢分解，微溶于水，在25攝氏度及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%（重量比），然而與可燃性氣體燃燒時(shí)， 會(huì)分解產(chǎn)生有毒，危險(xiǎn)性類別為第2.2類不燃?xì)怏w。
四氟甲烷對(duì)金屬、合金不腐蝕，可用無(wú)縫鋼瓶和鋁合金容器裝運(yùn)，充瓶壓力通常低于12.5Mpa，按壓縮氣體運(yùn)輸，鋼瓶每五年檢驗(yàn)一次，國(guó)外規(guī)定可用汽車、火車、輪船和飛機(jī)運(yùn)輸，國(guó)內(nèi)目前無(wú)規(guī)定。鋼瓶包裝（14MPa）（DOT-3AAGB-5099)，閥門（CGA-580/590,QF-2），32kg/48.8L，30kg/43.3L ，5kg/8L，2.5kg/4L。
產(chǎn)品質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)（QUALITY STANDARD FOR CF4）
指標(biāo)名稱 | 高純級(jí) | 優(yōu)級(jí)品 | 一級(jí)品 |
| ,%（v/v）,≥ | 99.99 | 99.9 | 99 |
| ,%（v/v）,≤ | 0.002 | 0.03 | 0.3 |
| ,%（v/v）,≤ | 0.0005 | 0.01 | 0.1 |
| ,,≤ | 5 | 5 | 10 |
| ,,≤ | 5 | 10 | 800 |
| 氟化碳,,≤ | 15 | 20 | - |
| ,（HF）ppm,≤ | 0.1 | 1 | - |
| ,,≤ | - | - | 600 |
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