R-14制冷劑,別名R14、氟利昂14、PFC-14,商品名稱有Freon 14等,中文名稱四氟化碳、四氟甲烷,英文名稱Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane,分子式CF4。R-14屬于FC類物質(zhì)——對臭氧層沒有破壞、但存在溫室效應(yīng);目前對于R14制冷劑的生產(chǎn)、銷售以及在新制冷設(shè)備上的初裝、售后設(shè)備上的再添加均沒有限制。
R-14主要用途
R-14作為一款特種超低溫制冷劑,主要應(yīng)用于要求溫度非常低的深冷設(shè)備中(包括科研制冷、醫(yī)用制冷等),R14同時也是超低溫配合冷媒的重要組分。四氟化碳(四氟甲烷)是目前微電子工業(yè)中用量的等離子蝕刻氣體,其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣,可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、泄漏檢驗劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
R-14物化性質(zhì)
冷媒名稱 | R-14 |
分子量 | 88.0 |
沸點(1atm),℃ | -128 |
臨界溫度,℃ | -45.67 |
臨界壓力,kPa | 3740 |
飽和蒸氣壓(25℃),kPa | 3650(-45.6℃) |
汽化熱/蒸發(fā)潛熱(沸點下,1atm),kJ/kg | - |
破壞臭氧潛能值(ODP) | 0 |
全球變暖潛能值(GWP,100 yr) | 5700 |
ASHRAE安全級別 | A1(無毒不可燃) |
R-14冷媒包裝
可重復(fù)使用高壓鋼瓶包裝(需回收包裝鋼瓶):7kg/瓶,32kg/瓶。
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