LEYBOLD萊寶C03 活塞式和渦旋式干泵
LEYBOLD萊寶ECODRY M 系列活塞式干泵
Ecodry系列為歐瑞康萊寶推向市場(chǎng)的一種干式泵。它可以滿足除半導(dǎo)體行儀以外的所有干式真空的需要。由于它相對(duì)于其他干式泵來(lái)說(shuō),結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,價(jià)合理,因此剛一面市、即受到廣大格用戶的歡迎。
Ecodry活塞式干泵的主要技術(shù)參數(shù):
抽速:14m3/h~30m3/h
極限真空度:5.5×10-2mbar
排水蒸氣能力:25mbar()
Ecodrg活塞式干泵的主要特點(diǎn):
1、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于操作和維護(hù);
2、工作過(guò)程中不產(chǎn)生粉塵;
3、耐粉塵,排水蒸氣能力強(qiáng);
4、低能耗,堅(jiān)固耐用,可靠性高;
5、可以選配變頻器增大抽速;
典型應(yīng)用:質(zhì)譜儀,電子顯微鏡,照明,鍍膜,loadlock,無(wú)油高真空前級(jí)泵等。
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