電子廠加濕設(shè)備1595 次潔凈室內(nèi)相對(duì)濕度控制的必要性 [2006-11-28]這些年里，在這些規(guī)定范圍中保持處理空氣過程，使我們必需承擔(dān)資金和營運(yùn)費(fèi)用。但是為什么值得花費(fèi)這么多錢用在潔凈室中控制相對(duì)濕度呢？

相對(duì)濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會(huì)使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會(huì)讓人感覺干燥，皮膚皸裂，呼吸道不適以及情感上的不快。
 
相對(duì)濕度是潔凈室運(yùn)作過程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件。半導(dǎo)體潔凈室中的典型的相對(duì)濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)──或者在遠(yuǎn)紫外線處理（DUV）區(qū)甚至更小──而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。 

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● 細(xì)菌生長；
● 工作人員感到室溫舒適的范圍；
● 出現(xiàn)靜電荷；
● 金屬腐蝕；
● 水汽冷凝；
● 光刻的退化；
● 吸水性。

細(xì)菌和其他生物污染（霉菌，病毒，真菌，螨蟲）在相對(duì)濕度超過60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對(duì)濕度超過30%時(shí)就可以增長。在相對(duì)濕度處于40%至60%的范圍之間時(shí)，可以使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降至。