001 ， 002 和 003A 型質(zhì)量流量控制閥門都是常閉的比例控制閥門，可應(yīng)用在從 0-5sccm 到 0-500 slpm 氮?dú)饬砍讨�。�?dāng)它與質(zhì)量流量計(jì)結(jié)合使用時(shí)，就可構(gòu)成一個(gè)閉合回路控制系統(tǒng) , 該系統(tǒng)允許單獨(dú)組件配置（流量計(jì)和控制閥門）。
001 型， 002 型， 003A 型 質(zhì)量流量控制閥門技術(shù)參數(shù)
流量范圍* ：從 0-5SCCM 到 0-500SLPM
環(huán)境和操作溫度 ： -10 ～ 70 ℃（ 14 ～ 158 ℉）
操作壓力： 1000PSIG （ 6.9 MPa ） ，具體請(qǐng)參考表一
安裝方向 ：對(duì)位置不敏感
額定工作電壓 ： 4-11VDC （ 24VDC ）
額定工作電流 ： 150mADC （ 275 mADC ）
閥線圈電阻 ： 80 ± 4 Ω（ 001型和003A型） ； 63 ± 3 Ω（ 002型）
重 量 ：請(qǐng)參考表一
結(jié)構(gòu)材質(zhì)
主體： 316 不銹鋼
孔： 316 不銹鋼
閥組件（接液）： 001 型： 302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik?1802
002 型： 302SS ， 316SS ， Sandvik1802
003A 型： 302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik1802
密封材質(zhì)（” O ”型環(huán)和閥座）： 001 型： Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton
002 型： Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton
003A 型： Buna N ， Viton
* 注：上述流量范圍反映的是氮?dú)鈽?biāo)定下產(chǎn)生的小流量和流量，可采用其它介質(zhì)的流量范圍，當(dāng)操作參數(shù)有疑問(wèn)時(shí)為了保證選型，請(qǐng)咨詢廠家。

表 一